净化过程中处理的废气成分复杂很多都具有腐蚀性，尤其是一些化工厂等排出的废气，再加上温度、湿度等因素的影响，其腐蚀性将进一步增强，会腐蚀净化装置与管道，不仅会缩短系统的使用年限，还会因腐蚀而产生泄漏，引起污染，甚至造成中毒或爆炸等恶性事故，因此净化系统的防腐非常重要。
1、采用耐腐材料防腐：找寻适当的耐腐材料是重要的防腐措施（如PP聚丙烯、不锈钢等）。选择材料时，不仅要考虑在使用条件下材料的耐腐性能好，而且还应考虑材料的机械强度、加工难易程度、耐热性能以及材料的来源和价格等。
2、金属保护膜防腐：目前常用的是在钢材表面上镀上一层活性比铁更强的电负性金属膜，这类金属一般在空气中极易生成一层坚固的氧化膜，从而保护镀膜本身及钢材不受腐蚀。
3、非金属保护膜防腐：采用油漆及各种有机防腐材料，通过喷涂等工艺形成金属材料的保护层，从而达到防腐蚀的目的。
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