常用的vocs治理工艺主要包括如下：
1、 热焚烧法：基于废气中有机化合物可以燃烧氧化的特性，将其转化无害物质CO2和H2O。 热焚烧法的机理是通过氧化、热裂解和热分解方法将VOCs中的有机物转化为CO2和H2O排放，主要包括直接燃烧法、蓄热燃烧法(RTO/RCO)和催化燃烧法(RCO)等。其中，直接燃烧对有机废气的热处理效率相对较高，一般可达到99%以上，催化燃烧是指在催化剂的作用下，在温度不高的情况下加快有机废气的反应速度，从而达到治理VOCs的目的。
2、 吸收技术：由废气和洗涤液接触将VOCs从废气中移走，之后再用化学药剂将VOCs中和、氧化或其它化学反应破坏。
3、 冷凝技术：冷凝将废气降温至VOCs成份之露点以下，使之凝结为液态后加以回收之方法。
4、 膜分离技术：用人工合成的膜分离VOCs物质。
5、 生物降解技术：利用微生物对废气中的污染物进行消化代谢，将污染物转化为无害的水、二氧化碳及其它无机盐类。
6、 吸附技术：利用吸附剂与污染物质(VOCs)进行物理结合或化学反应并将污染成份去除技术。
7、 等离子体技术：等离子体场富集大量活性物种，如离子、电子、激发态的原子、分子及自由基等；活性物种将污染物分子离解小分子物质。这种处理方法主要适用于浓度高且温度比较低的有机废气处理。通常适用于VOC含量高(百分之几)，气体量较小的有机废气的回收处理，由于大部分VOC是易燃易爆气体，受到爆炸极限的限制，气体中的VOC含量不会太高，所以要达到较高的回收率，需采用很低温度的冷凝介质或高压措施，这势必会增加设备投资和处理成本，因此，该技术一般是作为一级处理技术并与其它技术结合使用。
8、 光催化技术：光催化剂纳米粒子在一定波长光线照射下受激产生电子空穴对，空穴分解催化剂表面吸附的水产生氢氧自由基OH，电子使其周围的氧还原成活性离子氧，从而具备极强的氧化还原能力，将光催化剂表面的各种污染物摧毁。
整理来讲，焚烧法是目前较普遍的，也是较为有效和彻底的VOCs治理技术，如果不需要对废气中的有机物进行回收利用，通常采用焚烧法治理。但是无论是热力焚烧还是催化燃烧法都需要将废气加热到相应的可燃温度，当废气中有机物浓度较低时，由于传统催化燃烧技术和热力焚烧技术换热效率低，耗能大，治理设备运行费用都较高。
近年来RTO和RCO由于换热效率高，可以在VOCs较低浓度下使用，正在逐渐替代传统热力焚烧和催化燃烧法。但RTO仍存在投资成本高、占地面积大，有二次污染等问题；RCO存在整体式占地面积小但维修困难，只能处理较低浓度气体，分体式占地面积大，不能处理复杂成分气体等问题。
同时，由于我国RTO和RCO开发较晚，产品质量与国外大型厂商还存在差距。因此在推动焚烧法的同时，积极推动我国RTO和RCO产业的创新发展，突破发展瓶颈，将成为未来VOCs治理重点。
随着环境执法的日趋严格，对工业污染源不断加强监管，各地各行业的排污收费政策纷纷落地，其中VOCs治理成为关键的一环。近年国家和多个地方政府相继发布关于VOCs治理政策法规和标准。据了解，环保部近期将出台《“十三五”挥发性有机污染物防治工作方案(征求意见稿)》，将提出“十三五”期间VOCs污染防治工作的总体要求、主要任务和保障措施，预计届时VOCs治理市场将迎来爆发式增长。